製品案内 A2000D
A2000D
最大で12インチサイズのウェハの測定が可能で大サイズの試料の測定に特化した全自動接触角計。試料台はX、Z軸方向への移動だけでなく回転軸にも対応。可動範囲は360°で正逆回転可。オートディスペンサも標準装備。カメラレンズにはテレセントリックレンズを採用。
12インチウエハー用大型ステージ
最大12インチサイズウエハの測定が可能な円形ステージを搭載したウエハ用接触角計です。
12インチウエハの全面測定が可能
指定した測定ポイントを図で確認でき、使いやすいソフトウェア。
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懸滴作成から着液まで全自動で測定可能
オートディスペンサ、XZおよびステージ回転軸すべて全自動制御。測定位置を指定後は、測定作業完了まで作業は不要です。
テレセントリックレンズ採用
側面観測用にテレセントリックレンズを採用し、液滴からの距離にかかわらず、鮮明な画像を取り込みます。
動作紹介
項目 | 仕様 | |
装置型式 | A2000D | |
標準ソフト |
静的接触角測定(任意の瞬間測定・経時変化測定) 表面(界面)張力測定 |
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測定方法 |
静的接触角測定:液滴法 表面(界面)張力測定:ペンダントドロップ法 / ライジングドロップ法 |
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解析方法 |
静的接触角:θ/2法 / tangent法 / 真円フィッティング / 楕円フィッティング 表面(界面)張力:ds/de法 / Young-Laplace法(カーブフィッティング法) |
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使用環境 |
室温 5~45℃ 湿度 80%未満 結露、振動、気流、磁場等の影響を受けないこと |
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光学系 | カメラ | CMOSカメラ |
インターフェース | USB3.1 ×2 以上 | |
フレームレート | 標準:600fps(1秒間に600枚の液滴画像の撮影可能) | |
レンズ |
標準:テレセントリックレンズ ※オプションで広角テレセントリックレンズのご用意もございます。 |
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測定視野 | 横方向4.8mm 縦方向3.6mm ※視野数値は理論値 | |
試料台 | φ320mm ※12インチウェハ対応 | |
試料寸法最大サイズ | φ320mm | |
試料寸法最大厚さ | 14mm(推奨) | |
試料台可動範囲 | 上下 | 22mm |
左右 | 170mm | |
前後 | 12mm | |
回転 | 360° ※正逆回転可 | |
試料最大重量 | 500g | |
装置本体寸法 | W320-500mm×D579mm×H285mm ※突起部を除く | |
装置本体重量 | 10.0kg | |
表示分解能 | 0.01° | |
ユーティリティ | AC100V 50/60Hz 43W(43VA) | |
動作環境 (PC推奨仕様) |
対応OS | Windows 11 / 10 / 8.1 / 8 / 7 (日本語版 64/32bit) |
CPU | Intel Core i5 以上 | |
HDD | 20MB以上 (デバイスドライバの領域含む、データ保存領域を除く) | |
RAM | 64bit:4GB以上(推奨8GB)/32bit:2GB以上 | |
ディスプレイ | 1024 × 768ピクセル以上 | |
I/F | 空きUSB2.0ポート×3(USBカメラ用×1 / USBライセンスキー用×1 / コントロールボックス用×1) | |
オプション | ソフト |
拡張収縮法測定ライセンス 傾斜法測定ライセンス ※傾斜ユニットとのセット販売 表面自由エネルギー計算ライセンス ※試薬は別途 |
ハード |
上面観測ユニット ※レンズはテレセントリックレンズ カメラレンズ(広角レンズ、視野可変レンズ) 他多数 |