サンプルサイズについて

測定サンプルの平面方向のサイズについて

下記がCCDカメラレンズとステージ、バックライト（LED）光源の位置関係画像です。

B100ワークサイズ

B100の場合、赤い矢印の最大幅が約150mmです（ME2の場合は、最大100mm）。

着液場所は、針先の位置のみで測定箇所の制限はありますが、ワークの短い方の幅が最大150mmまでステージにセット可能です。

6インチウエハーを載せた画像
6インチウエハーを載せた場合
ステージ画像（100mm角）
ステージ画像（100mm角）

測定サンプルの厚みについて

B100の場合、標準ステージ上の最大厚みは15mmですが、ステージを取り外すことにより最大30mmのワークまでセット可能です。（六角レンチで簡単に取り外すことが可能です。）

最大厚みのワークについて

厚みのあるワーク向けステージカスタマイズ事例

B100Wカスタマイズ画像
B100Wカスタマイズ事例
最大厚さ45mmイラスト
最大厚さ45mmワークカスタマイズ事例

※ レンタル/受託サービスにつきましては、特殊ステージへの交換が可能ですので、最大ワークサイズ45mmまでの厚さのワークの測定が可能です。